産業用 精密シャフト・ピン製作.comの半導体製造装置向け スプラインシャフト受けの製作事例

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HOME>>一覧>>半導体製造装置向け スプラインシャフト受け
名称 半導体製造装置向け スプラインシャフト受け
材質 SUS303
寸法 φ12×ℓ43.2 φ10穴 φ4.5穴
制度 軸部φ12h6(0~-0.011) φ9、φ7 h6(0~-0.009) 穴部φ10H6(0~+0.009)
特徴 SUS303は切削加工用のステンレス鋼でボルト、ナット用途として使われます。
SUS304の切削性を改善する為にP(リン)、S(イオウ)を添加したのが快削鋼SUS303です。
寸法も安定しやすいので量産加工にも適しています。

このホルダースプラインはφ12からφ6まで4つの段から形成されておりφ14部にはM2タップ加工が90度方向に2か所、φ7部には幅4㎜深サ0.25㎜の溝加工が指示されています。
さらにφ10軸部にはh6(0~-0.011)、φ8、φ7軸部にはh6(0~-0.009)、φ10穴部にはH6(0~+0.009)公差が指示されており一般的な穴付きピンよりも高精度と言えます。

φ10軸部に対してφ12、φ10、φ7軸の同芯度がφ0.02という指示がある為に穴加工、軸加工を一工程で仕上げているので連続運転の際は、それぞれの径公差の寸法管理に注意が必要です。
その時に応じた適正な加工条件を設定します。

同芯度、軸径公差、穴公差など高精度を要求されている個所は多いですが、シチズン製の自動盤にて1チャック一工程で加工しているので高精度な仕上がりには自信があります。
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