産業用 精密シャフト・ピン製作.comの半導体製造装置向け ベアリングガイド
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| 名称 | 半導体製造装置向け ベアリングガイド |
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| 材質 | Ti-6AI-4V |
| 寸法 | φ17.80×ℓ2.5 内径φ7.5 座グリ部φ10 深さ0.5 |
| 制度 | φ17.80（0～-0.1） 座グリφ10（0～+0.1）深さ0.5（0～-0.1） その他±0.1 |
| 特徴 | このベアリングガイドに用いられているTi-6AI-4Vのチタン合金は、工業用純チタンにAI,V,Cr,Mo,Sn等の合金元素を加えたものです。 一般に純チタンにチタン合金に各種金属を加え、耐食性、強度、低温靭性等の性質を改善、向上させたものがチタン合金であり、大別するとα型チタン、β型チタン、α-β型チタンがあります。 その中のTi-6AI-4V合金（アルミ6％、バナジウム4％）で6-4と呼ばれているα-β型です。 このベアリングガイドは、偏芯穴φ3×2.2キリ、φ5サラモミがある反対側にφ10（０～+0.1）深サ0.5（0～-0.1）の座がありますが、全長が2.5mmと短くサブスピンドルでつかむのが困難な為、内径溝バイトを用いて正面側から加工を行っています。 またチタン合金はSUSやSUM等の一般鋼と比べて加工がしにくいため、主軸回転数、工具回転数、送り速度等の条件を抑えて加工する必要があります。 特に小径の雌ネジ加工は工具の破損が発生しやすいため、加工コストを抑えるためには工具の注意とこまめなチェックが必要になります。 加工時間が長くなりがちなチタン合金ですが、ある程度まとまった数の加工を行う際には、NC自動盤にて加工条件を安定させることで、コストダウンを実現することができます。 |
| ロット・価格・納期 | |||||
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